工藝設備安裝&調試請找兆德(南通)電子科技有限公司。

兆德電子是由多名半導體專(zhuān)業(yè)人士牽頭組建，有豐富的從工藝設備安裝&調試、設備搬遷及人員管理等方面的經(jīng)驗。熟悉各類(lèi)半導體設備拆解、包裝、運輸、存儲、安裝、調試等各個(gè)環(huán)節，承接半導體設備相關(guān)業(yè)務(wù)。

半導體設備包含光刻、擴散、注入、濕法、干刻、薄膜、濺射、背蒸、減薄等區域設備。

(1)設備關(guān)機;

a)軟件關(guān)閉：確保Stage、robot home position Double check valve closed;

b)硬體關(guān)閉：手動(dòng)閥門(mén)的關(guān)閉。Facility管道、閥門(mén)的斷開(kāi);

(2)設備拆機;

a) Facility： PV、電、氣斷開(kāi)。并做相應記錄。包括管徑、流量、電壓、電流數據

b)易碎品拆除并作安全打包移機記錄;可活動(dòng)stage、部件的相應固定。

c)機臺分離： I/0數據線(xiàn)mark后斷開(kāi);分離前機臺mark;

d)適用油壓板車(chē)與千斤頂對機臺分離工作進(jìn)行緩沖，以確保機臺在拆機過(guò)程中不受任何外力影響;

(3)設備移機;

a )新區域marking：業(yè)主提供設備生產(chǎn)線(xiàn)新區域起始點(diǎn)我司進(jìn)行所有機臺相應中心、邊框對準線(xiàn)

b )動(dòng)線(xiàn)確認：與業(yè)主溝通確定設備在MOVE過(guò)程中之動(dòng)線(xiàn);并做PVC板鋪墊對機臺移機地板進(jìn)行保護

c)機臺MOVE順序：優(yōu)先原則確定

d )安全：避免機臺在移機過(guò)程中由于人為造成之震動(dòng)、撞擊等損害;所有工程人員應守廠(chǎng)區施工行為規范

(4)設備安裝;

a )機臺初定位：按照地面marking

b )機臺精確定位：水平與位置精確調整

c )機臺內部連線(xiàn)：I/O線(xiàn)、電源線(xiàn)連接

d )機臺內部拆除件組裝：易碎品部件安裝

(5)設備調試;

a)確認facility條件滿(mǎn)足：PV CDA PN2以及電源連接并確認

b )開(kāi)機：硬件電源開(kāi)啟、操作系統開(kāi)啟;確認氣動(dòng)閥門(mén)、電磁閥門(mén)開(kāi)關(guān)正常;sensor、Interlock正常;

c )ROBOT/STAGE match 包括正常歸位，進(jìn)、出片位置正常;精度達標。

d )流片測試：按正常生產(chǎn)進(jìn)行run貨。

兆德（南通）電子科技有限公司是專(zhuān)業(yè)的工藝設備安裝&調試廠(chǎng)家，期待與您的合作。